特级科研第11章11
此时大家都是通过外面的屏幕来观看里面的实验。 </p>
因为人太多，就会带入很多细菌和灰尘。 </p>
此时苏芊在实验室中担任指挥，其他科研人员都在紧急调配。 </p>
里面是一个非常小巧的机器。 </p>
大家看了以后都很疑惑。 </p>
因为极紫外光刻机大家不是没有见过。 </p>
体型非常庞大！ </p>
毫不夸张的说，相当于一辆公共汽车大小！ </p>
通体白色，非常占地方。 </p>
而净室里的机器看上去只有一张办公桌那么大，机型是黑色的。 </p>
看上去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。 </p>
让人有些担心，这种机器真的可以做到7nm、5nm，乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗？ </p>
此时里面的苏芊已经恢复了精神，面色平静，没有一丝感情。 </p>
似乎他已经没有体力让自己兴奋起来！ </p>
“老师，实验可以开始了。” </p>
苏芊开口说道。 </p>
杨平按下麦克风的按钮：“第9次芯片生产实验，启动！” </p>
随着一声令下。 </p>
科研人员操作者机械臂，吸附起了一块12英寸的晶圆。 </p>
放入正在传送的履带上之后，晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。 </p>
旁边的操作人员紧张的汇报着数据。 </p>
因为过于紧张，连声音都有些颤抖。 </p>
“报告……启动程序无故障！” </p>
“电压稳定设备运行正常！” </p>
“监控设备运行正常！” </p>
“……” </p>
此时整个研究室鸦雀无声，落针可闻！ </p>
大家仿佛可以听到，机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。 </p>
要知道，这东西的声音人类几乎不可能捕捉到！ </p>
但是此时大家就是可以听到！ </p>
出了仪器发出的细微声响之外。 </p>
整个净室，哪怕大家相距胜远，都能听到彼此的呼吸声！ </p>
苏芊目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕，看着显示屏幕上的光刻进度条。 </p>
进度条一点点的衍生，他的手心开始湿润了起来。 </p>
这场实验已经接近十次了！ </p>
这次是最接近成功的一次！ </p>
极紫外光刻机太重要了。 </p>
有了它，只要有了芯片图谱，就可以制造出来相应的芯片！ </p>
而就在不久之前，杨平实验了5nm芯片图谱，还在实验阶段！ </p>
而今天，他们就是要利用光刻机生产5nm芯片！ </p>
如果真的可以做到这些，那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步！ </p>
终于，在万众瞩目中，进度条拉满！ </p>
一块晶圆被吐了出来，机械臂再度吸起来，然后放入蚀刻机。 </p>
这个步骤不复杂，只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。 </p>
露出光刻后的凹槽。 </p>
然后注入离子，让单晶硅拥有晶体管开关的特性。 </p>
在用铜进行晶体管间的连接工作。 </p>
在芯片彻底产出之前，大家都不敢说话。 </p>
时间一分一秒过去，终于到了切割的步骤。 </p>
终于，晶圆被切割成了700片小的芯片。 </p>
苏芊这个时候立刻上去开始查看数据。 </p>
随后他憔悴的脸上露出了淡淡的微笑。 </p>
他看向自己的老师，对方已经明白了结果。 </p>
“我宣布，国产第一台极紫外光刻机，研制成功！” </p>
声音徐徐落下，所有科研人员都猛地起身，发出了雷鸣一般的掌声！ </p>
甚至有的人激烈的拥抱在了一起！ </p>
“成功了！！！！5nm芯片啊！！！！” </p>
“我们可以挺起腰杆来做人了！” </p>
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